Selective Etching of GaN from AlGaN/GaN and AlN/GaN Structures
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Fabrication of GaN-based Photonic Crystal Structures by Reactive Ion Etching 87 Fabrication of GaN-based Photonic Crystal Structures by Reactive Ion Etching
The fabrication of the 2D GaN-based photonic crystal structure at optical scales, a subμm scale in our case is very challenging. In our work, a double-etching method proved to be feasible to achieve the periodic GaN/air variation. The pattern was defined in a PMMA resist by electron-beam lithography and transferred to SiO2 by reactive ion etching (RIE) in a CF4 plasma and further into GaN by RI...
متن کاملsynthesis of sulfides from alcohols and thiols in solvent-freeconditions and deoxygenation of sulfoxides
کاتالیست یک سنتز جدید برای تیواترها توصیف شده است. واکنش الکل ها با آریل، هتروآریل و آلکیل تیو ل ها درحضور 1،3،5- تری آزو- 2،4،6- تری فسفرین-2،2،4،4،6،6 هگزاکلراید ((tapc به عنوان یک کاتالیست موُثر، بازده های خوب تا عالی از تیواترها را حاصل می کند. علاوه براین، واکنش تحت شرایط بدون فلز و بدون حلال پیش می رود، بنابراین یک مکمل جالب برای روش های شناخته شده سنتز تیواترها ارائه می دهد. یک مکانیسم ا...
15 صفحه اولReactive ion etching of GaN using WI3
Reactive ion etching with SiCl, and BCls of high quality GaN films grown by plasma enhanced molecular beam epitaxy is reported. Factors such as gas chemistry, flow rate, and microwave power affecting the etching rate are discussed. The etch rate has been found to be larger with BCls than with SiC14 plasma. An etch rate of 8.5 &s was obtained with the BCl, plasma for a plasma power of 200 W, pre...
متن کاملassessment of deep word knowledge in elementary and advanced iranian efl learners: a comparison of selective and productive wat tasks
testing plays a vital role in any language teaching program. it allows teachers and stakeholders, including program administrators, parents, admissions officers and prospective employers to be assured that the learners are progressing according to an accepted standard (douglas, 2010). the problems currently facing language testers have both practical and theoretical implications but the first i...
the role of russia in transmission of energy from central asia and caucuses to european union
پس ازفروپاشی شوروی،رشد منابع نفت و گاز، آسیای میانه و قفقاز را در یک بازی ژئوپلتیکی انرژی قرار داده است. با در نظر گرفتن این منابع هیدروکربنی، این منطقه به یک میدانجنگ و رقابت تجاری برای بازی های ژئوپلتیکی قدرت های بزرگ جهانی تبدیل شده است. روسیه منطقه را به عنوان حیات خلوت خود تلقی نموده و علاقمند به حفظ حضورش می باشد تا همانند گذشته گاز طبیعی را به وسیله خط لوله مرکزی دریافت و به عنوان یک واس...
15 صفحه اولذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: MRS Internet Journal of Nitride Semiconductor Research
سال: 2004
ISSN: 1092-5783
DOI: 10.1557/s1092578300000405